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標題:研磨加工顯微幾何形狀和氧化物層分析顯微鏡

信息分類:站內新聞   作者:yiyi發布   時間:2020-1-31 23:27:20 將本頁加入收藏

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研磨加工顯微幾何形狀和氧化物層分析顯微鏡

   輸出校正的反饋信號控制研磨加工參數,而利用適當的傳
感元件來獲取所需的數據還有待進一步開發。為了至少部分
地解決這個問題,人們進行了廣泛的試驗。這些試驗的目的
是要檢驗用氮氖激光器來傳感噴砂研磨清理表面質量的光學
系統。
  通過改變反射光束偏振度,偏振光能很靈敏地反應試樣
表面的顯微幾何形狀和氧化物層的特點。激光技術的發展使
得利用激光束獻偏振特性獲得表面特性數據成為可能。在試
驗過程中,利用波長為0.6328m的線性偏振激光光束照射經
過鋼砂、鋼丸和金剛砂噴射清理后的試樣,試樣表面的反射光
束通過半透明的鏡子和兩個分析器后,被光電二極管探測\
反射光的偏振度可認為是所使用磨料數量的敏感的定量指標,因而也就
是表面粗糙度的指標但應注意到,反射光束的偏振度不僅依賴于表面粗
糙度和氧化物層,而且還依賴于磨料的類型和入射激光束與被測試樣的
角度,因此用這種方法評估研磨表面質量時不能給出絕對值。盡管如此
,偏振度可被認為是研磨加工效果的一個敏感標志,因而上面描述的評
價方法可以包括在有效控制表面質量的系統中。總的來說,研磨加工表
面質量的有效控制系統可描述如下:所需的偏振度P1代表所要求的表面
粗糙度,為一輸入量;實測的偏振度P2代表著實際表面狀態,為一輸出量
。研磨加工的技術參數校正信號由P1與P1的差值P而得出。研磨加工可
按如下程序進行:研磨預處理;表面質量評價;后研磨處理。噴砂研蘑處
理的構件表面要分成若干段,按照同程序,噴嘴和激光束要橫掃這些部
位。











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