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標題:測量表面輪廓微觀幾何形狀分析顯微鏡

信息分類:站內新聞   作者:yiyi發布   時間:2020-2-3 7:33:36 將本頁加入收藏

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正文:

測量表面輪廓微觀幾何形狀分析顯微鏡

   測定微觀幾何形狀特性的方法和儀器
    為測定微觀幾何形狀的標準特性,巳創制不少儀器和方法.所采
用的方法幾乎都是按照輪廓來評定表面幾何形狀的。這種測量表面構
形的方法最費時或是獲得的精度不高,·它主要是在用比較法評定表
面時采用。上面曾經指出,輪廓包含有整個表面的數據,并能測定某
些構形參數,而同時繪制的一些輪廓圖可以評定表面的立體圖。

    用感觸法測量表面輪廓的缺點是,當測針醫在被測表面上時會產
生變形,這是因為在接觸區內產生較大;壓力的緣故。此外,測針的
端頭具有2—1叫m半徑的圓弧,所以當它沿輪廓峰滑動時,便產生輪廓
失真.
    在光學測量方法中,廣泛采用的是光切法;投影法和干涉法。光
切法就是通過狹縫而形成的光帶P245,角照射在被測表面上,因為表
面具有不平度,所以投影可呈現出輪廓的形狀)。該輪廓可以用帶讀數
裝置的顯微鏡檢測.整個測量系統稱為雙管顯微鏡,雙管顯微鏡可以
檢測粗糙度參數R。.切光法可以觀察較大不平度的形狀和尺寸,但其
分辨能力低
    采用投影法時,用一只鋒利的刀片以60二傾角壓緊在被測表面上
,光源從刀片的一邊照射時使其影象投在表面上,該影象即顯示出輪
麻的不平度。輪囀用帶有讀數裝置的顯微鏡進行檢測











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